Sinhrotronnoe izluchenie dlya issledovaniya nanodispersnyh materialov

Na dannyj moment tochnym metodom, s pomoshh'ju kotorogo opredelyaetsya bol'shinstvo izvestnyh struktur, yavlyaetsya rentgenostrukturnyj analiz. Dannaya rabota poseshhena issledovaniju nanorazmernyh plenok vol'frama, poskol'ku v nastoyashhee vremya dannyj vid plenok, formiruemyh razlichnymi metodami, nahodyat shirokoe primenenie dlya mnogih tehnicheskih prilozhenij: diffuzionnye bar'ery v poluprovodnikovyh tehnologiyah, zashhitnye maski v rentgenovskoj litografii, rabochie sloi v mnogoslojnyh interferencionnyh strukturah dlya upravleniya potokami rentgenovskogo izlucheniya, zashhitnye pokrytiya vnutrennih poverhnostej tokamakov. Pri jetom vo vseh sluchayah vazhnoj yavlyaetsya informaciya o strukture, poristosti i morfologii plenok, kotorye opredelyajut ih funkcional'nye svojstva. V rabote byla otrabotana metodika issledovaniya tonkih plenok metodom poroshkovoj rentgenovskoj difrakcii na sinhrotronnom istochnike s ispol'zovaniem kalibrovki po jetalonnomu obrazcu polikristallicheskogo kremniya. Provedeny jexperimenty po issledovaniju tonkih plenok vol'frama i nanokompozita, soderzhashhego vol'fram.